Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述：

差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。

差分發(fā)射頭具有光學(xué)設(shè)計，可實現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整，從而改進準(zhǔn)直過程（僅適合平面鏡應(yīng)用）。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調(diào)整，安裝系統(tǒng)的設(shè)計允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置，對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。

特性與優(yōu)點：

測量性能-ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達到38.6pm。

差分配置-測量運動平臺相對于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環(huán)境波動有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動。

快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直-采用四個內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進行準(zhǔn)直調(diào)整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。

通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇。